반도체식 오염원 측정 센서는 가스상의 오염 물질 중 산화물 반도체 표면과 화학 흡착 작용을 일으키는 기체를 탐지하고, 정량화하는데 사용되는 가스 센서를 의미하며, 보통 일산화탄소, 오존, 황화수소, 질소산화물, 휘발성유기화합물 등 인체와 동식물에 위해를 끼치는 유독성 가스는 물론 탄화수소계 가스와 같은 폭발성 가스 등 여러 가지 가스 종을 측정할 수 있다.