반도체 표면에 산화막을 형성하고 절연물로 산화막 위에 금속을 부착한 구조. 금속 산화물 반도체(MOS, 모스) 구조는 반도체 표면에 수직으로 가해지는 전계(electric field)로 동작이 제어되며, 트랜지스터나 집적 회로 등에 널리 응용된다.